Vákuová jednotka sa skladá z rôznych vákuových komponentov a ide o výfukový systém bez vákuovej komory. Vákuové jednotky sú pomenované podľa hlavného čerpadla. V súčasnosti medzi domáce vákuové jednotky patria najmä jednotky olejových difúznych čerpadiel, jednotky olejových posilňovacích čerpadiel a Rootsova pumpa Jednotky.

Hlavné čerpadlá nízkovákuovej čerpacej jednotky sú bežne používané piestové vývevy, olejomalené vývevy, prúdové vývevy vodnej pary, vodnokruhové vývevy, adsorpčné vývevy s molekulovým sitom, vývevy olejových pár, Rootsove vývevy atď. nízka vákuová čerpacia jednotka má vysoký pracovný tlak a veľkú výfukovú nádrž, ale rýchlosť čerpania je relatívne nízka. Väčšinou sa používa na hrubé čerpanie vákuových komôr a vákuovú dopravu, vákuovú impregnáciu, vákuovú filtráciu, vákuové sušenie, vákuové odplyňovanie a iné zariadenia s veľkým uvoľňovaním vzduchu a vysokým pracovným tlakom. Pri použití nízkovákuovej odsávacej jednotky je potrebné zladiť aj potrebné zberače prachu, sušičky a ďalšie komponenty podľa čistoty, vlhkosti alebo iných špeciálnych požiadaviek odsávaného plynu.

Jednotka olejového posilňovacieho čerpadla so stredným vákuom sa používa na dosiahnutie pracovného tlaku 1~10-1Pa. Konečný stupeň vákua je 10-2Pa. Skladá sa z olejového posilňovacieho čerpadla, vákuového ventilu, lapača, nízkotlakového uzatváracieho ventilu, odvzdušňovacieho ventilu, potrubia, elektrického ovládacieho panela, relé tlaku vody a ďalších komponentov.

Pracovný stupeň vákua jednotky Rootsovej pumpy so stredným vákuom je 1~103Pa. Konečný stupeň vákua je 10-1Pa. Ostatné komponenty sú rovnaké ako jednotka olejového posilňovacieho čerpadla.

Pracovný stupeň vákua vysokovákuovej čerpacej jednotky je 10-2~10-3Pa a jej konečný stupeň vákua je 10-4Pa. Hlavným čerpadlom jednotky je zvyčajne olejové difúzne čerpadlo, difúzne posilňovacie čerpadlo, molekulárne čerpadlo, titánové čerpadlo, nízkoteplotné čerpadlo kondenzátu atď. Tieto čerpadlá nemôžu pracovať priamo s atmosférou a vyžadujú si predčerpadlo alebo čerpadlo na predúdržbu. Niektoré vysokovákuové extrakčné jednotky s difúznym čerpadlom sú tiež vybavené zásobníkom vzduchu s predstupňom, ktorý zabraňuje kolísaniu tlaku vzduchu a zlepšuje výkon jednotky.

Jednotka ultravysokého vákua pracuje pri 10-6~10-8Pa. Okrem požiadavky, aby materiál vákuovej komory mal veľmi nízku rýchlosť odplynenia, malú rýchlosť úniku vzduchu a aby odolal vysokej teplote pečenia pri 200-450 °C, požiadavky na jednotku sú nasledovné: konečné vákuum hlavné čerpadlo by malo byť vysoké, aspoň 10-7~ Nad 10-8Pa. Hlavné čerpadlo má určitú rýchlosť čerpania v rozsahu pracovného tlaku ultra vysokého vákua. Parciálny tlak spätného toku plynu z hlavného čerpadla by mal byť dostatočne nízky; hlavné čerpadlo so silnou selektivitou k plynu, ktorý sa má čerpať, by malo byť vybavené dostatočne veľkým pomocným čerpadlom; výber materiálu a utesnenie potrubí, ventilov a iných komponentov nad prívodom vzduchu hlavného čerpadla jednotky Buďte obzvlášť opatrní. Vo všeobecnosti sa používa nehrdzavejúca oceľ s nižšou rýchlosťou výstupu plynu a kovové tesniace krúžky.